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  • 膜厚系统光谱仪

    NanoCalc是一种用户可配置的膜厚测量系统,膜厚系统光谱仪利用分光光谱反射仪来精确地测量光学或非光学薄膜厚度,可广泛应用于半导体、医疗和工业生产中。 利用白光干涉测量法的原理,NanoCalc用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据,由于反射率n和k随膜厚的不同而变化,NanoCalc根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc中,不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述,

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